MWT 激光加工设备
设备介绍
该设备用于在硅片上的激光加工工艺
设备特点
ØMWT激光打孔,兼容多种打孔方案 Ø全面积孔洞透光率检测 Ø单机每小时6500片的高速产能 Ø碎片率控制 <0.03% (行业第一) Ø可选装隐裂检测, 双片检测 Ø可无缝对接 AGV
Copyright © 深圳市创一智能装备有限公司
设备介绍
该设备用于在硅片上的激光加工工艺
设备特点
ØMWT激光打孔,兼容多种打孔方案 Ø全面积孔洞透光率检测 Ø单机每小时6500片的高速产能 Ø碎片率控制 <0.03% (行业第一) Ø可选装隐裂检测, 双片检测 Ø可无缝对接 AGV
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